Органический силан

Силан, то есть соединение кремния и водорода, является общим термином для ряда соединений, включая силановый (SIH4), этил Silane (Si2h6) и некоторые более продвинутые соединения, полученные из кремниевого водорода, общая формула-Sinh2n+2 2. или водород заменяется другими функциональными группами после производного, из которых Сайан является наиболее распространенным, иногда называемым силаном.

В 1857 году немецкий химик H Buff обнаружил силаны, и в течение следующих 100 лет или около того силанов были лишь немногие исследователи, изучавшие в лаборатории, без какого -либо использования. С ростом полупроводниковых технологий в 1950 -х годах люди начали рассматривать специальности силанов, и силаны начали использоваться в электронике. В 1980 -х годах применение силанов претерпело серьезные изменения. С появлением серии новых технологий или успеха разработки новых продуктов с использованием силанов, использование силанов резко возросло. Тысячи тонн силанов обрабатываются в кремниевый кремний ультрапирацию на фабриках каждый год, а сотни тонн газа используются для изготовления широкого спектра новых материалов и устройств. Учитывая, что большинство устройств в этих приложениях потребляют только миллиграммы или даже микрограммы газа на устройство, а толщина пленки, изготовленной из силана, находится в порядке микрон, можно видеть, что вышеуказанное количество силана не является небольшим числом. В 1990-х годах вышло большее количество новых функциональных устройств, среди которых сверхскоростно скоростные компьютерные чипы, плоские панель высокой четкости, высокоэффективные и низкие солнечные элементы, высокопроизводительный керамический двигатель Части, датчики с различными специфическими функциями и т. Д. Были разработаны в больших масштабах, и все еще появляются более обновленные устройства, и эти устройства используют силаны.

Причина, по которой Silane широко используется в высоких технологиях и становится все более и более важной, в первую очередь связана с его характеристиками, но также связана с особыми потребностями современных высоких технологий. Благодаря термическому разложению или химической реакции с другими газами серия кремниевых веществ, таких как монокристаллический кремний, поликристаллический кремний, аморфный кремний, металлический силицид, нитрид кремния, кремниевый карбид и оксид кремния. Силаны обеспечивают наибольшую чистоту, лучшую (до атомного размера) контроль и наиболее гибкие химические реакции. Таким образом, различные материалы, содержащие кремния, превращаются в сложные и мелкие структуры в соответствии с различными потребностями, что является основным состоянием, необходимым для современных материалов и устройств с различными конкретными функциями.